惰性氣體手套箱由手套箱箱體、凈化單元、過渡艙和控制系統四大部分組成,其中凈化單元又分為凈化柱、循環系統、再生、真空泵、閥門五部分。過渡艙分為大過渡艙、小過渡艙,控制系統功能(包括自診斷、斷電自啟動特性,具有壓力控制和自適應功能,自動控制、循環控制、密碼保護),自動記錄系統數據。
惰性氣體手套箱的技術要求:
1、手套箱尺寸:長×寬×高≥2700×750×900 mm,304不銹鋼材質。箱體底部配有支架,旋轉腳輪,可微調水平,配有用于壓力調節的腳踏板。
2、箱體配有大小過渡艙,大過渡艙直徑360mm,長度600mm,小過渡艙直徑150mm,長度300mm。為方便運輸,大、小過渡艙與箱體的連接方式均為可拆卸式法蘭連接,不能焊接于箱體側板。
3、真空泵:抽速≥12m3/h,真空度可達2×10-3mbar,配裝油霧過濾器。
4、雙氣體凈化柱:304不銹鋼,凈化材料銅觸媒>5kg,分子篩>5kg,除氧能力>40 L,除水能力>5 kg,凈化材料可再生,且再生過程通過PLC自動控制,惰性氣體手套箱自動除水除氧功能,可得氣體純度:水<1ppm,氧<1ppm。
5、水分析儀:測量范圍是0~500ppm,采用P2O5傳感器,水探頭可以通過清洗再生程序恢復初始狀態,可重復使用,避免一次污染即報廢的問題。
6、氧分析儀:測量范圍:0~1000ppm,采用ZrO2傳感器,避免了燃料電池(電化學電池)壽命短,不能暴露在高氧中的問題。
7、加大有機溶劑吸附器,吸附柱尺寸直徑238mm,高度407mm,304不銹鋼材質,填充高效活性吸附材料,與主循環管道相聯,能吸附大量有機氣體。配有高真空蝶閥控制,吸附器可抽真空,顯示真空度。能快速方便的更換吸附材料,并且不破壞箱內高純氣氛。
8、控制系統:功能包括自診斷、斷電自啟動特性,具有壓力控制和自適應功能;自動控制、循環控制、密碼保護;單元控制采用西門子PLC觸摸屏。壓力控制:控制惰性氣體手套箱體、過渡艙的壓力,箱體工作壓力+/-10mbar內可以自由設定,超出+/-12mbar系統自動保護。